名古屋大学グローバルCOEプログラム マイクロ・ナノメカトロニクス教育研究拠点
ENGLISH
サイトマップ
名古屋大学
HOME プロジェクト概要 組織メンバー 研究成果 人材育成 リンク

 

マイクロ・ナノメカトロニクス教育研究拠点トップ > 組織メンバー - 組織メンバー紹介

組織メンバー

 組織メンバー紹介


教授 社本 英二 
所属
サブリーダー(産学連携推進担当)
ナノ設計・製造学
工学研究科機械理工学専攻
主な研究分野
超精密加工,超精密機械
Phone
Fax
メール
URL
http://www.mech.nagoya-u.ac.jp/upr/
研究紹介
超精密加工,超精密工作機械/機械要素に関する研究に従事し,難削材料の超精密・微細切削を実現する新しい加工法の創案などによって精密工学会賞2件,精密工学会技術賞,永井科学技術財団賞学術賞,工作機械技術振興賞論文賞,同奨励賞8件などを受賞しており,精密工学の分野においてその成果は高く評価されている.また,その成果は一部実用化が進められ,すでに産業界への貢献も大きい.
1.研究業績
1) 高硬度材の超精密微細加工に関する研究  新しい超精密微細加工法(楕円振動切削)を考案(特許第3500434号,US 6,637,303など)し,従来の加工法では不可能であった鋼やガラスなど高硬度材の超精密微細加工を実現している(’01, ‘03年精密工学会賞,’06年永井科学技術財団賞学術賞,’91, ’94, ’98, ’01年工作機械技術振興賞奨励賞など).例えば,本手法によって可能となった焼入れ鋼やタングステン合金の超精密・微細加工(サブミクロン以下の加工精度,ナノメートルオーダの粗さ)は,新しい各種マイクロデバイスを実現する金型加工技術としてすでに実用化されている.本成果は,産業界からも注目を集めており,5回の新聞報道(日刊工業新聞 ’91.2.26,’98.9.17,’00.4.5,’01.9.27,金型新聞 ’00.7.10)で取り上げられた.超音波振動装置メーカや精密金型メーカ等と共同で本加工技術の実用化に取り組み(即効型地域新生コンソーシアム研究開発事業 ’02年度,地域新生コンソーシアム研究開発事業 ’03-‘04年度,平成15年度戦略的基盤技術力強化事業,平成18年度戦略的基盤技術高度化支援事業),その成果はすでに超精密超音波楕円振動切削装置として市販化され,精密加工分野の工業的発展にも大きく貢献している(‘07年精密工学会技術賞).
2) 超精密位置決め機構に関する研究  新しい駆動機構によって超精密な送り運動と位置決めを実現する手法(Walking Driveと呼ぶ)を発案(特許第3909719号)し,超精密位置決め装置を開発した(’92,’95年工作機械技術振興賞奨励賞,日刊工業新聞 ’94.6.1).本装置は,足のストロークには限界があるが胴体は滑らかにかつ無限に移動できる動物の歩行動作を模倣することにより,微小ストロークの圧電素子を利用してテーブルを滑らかにかつ長ストローク(十ミリメートルオーダ)にわたって駆動し,同時に極めて高い位置決め分解能(オングストロームオーダ)を実現したもので,超高分解能,高耐荷重,超高真空への応用などの点で,他に類を見ない特長を持つ.半導体製造装置メーカと共同開発(産業技術実用化開発費助成金 ’06-’07年度)を行い,超高真空内半導体積層装置が試作機として販売されるに至っている.
2.共同研究実績
地域新生コンソーシアム研究開発事業を初めとして,数多くの共同研究実績を有する.(オークマ(株), (株)神戸製鋼所, THK(株), 多賀電気(株), Corning Precision Lens, Inc.(米), 他20機関以上)
3.本事業との関連性
マイクロナノ機械システムを創製するためには,超精密・微細加工技術および超精密位置決め技術が重要な基盤技術となる.これらに関する上述の研究実績をさらに発展させ,新しいマイクロナノデバイスやシステムの実現に貢献する.
代表的な論文
<主な発表論文>
(1) Elliptical Vibration Cutting of Tungsten Alloy Molds for Optical Glass Parts, N. Suzuki, M. Haritani, J. Yang, R. Hino, E. Shamoto, Annals of the CIRP, Vol.56/1, pp.127-130, 2007.
(2) A New Fluid Bearing Utilizing Traveling Wave, E. Shamoto, N. Suzuki, A. Hamaguchi, Annals of the CIRP, Vol.55/1, pp.411-414, 2006.
(3) Development of 3 DOF ultrasonic vibration tool for elliptical vibration cutting of sculptured surfaces, E. Shamoto, N. Suzuki, E. Tsuchiya, Y. Hori, H. Inagaki, K. Yoshino, Annals of the CIRP, Vol.54/1, pp.321-324, 2005.
(4) CNC装置の内部情報を利用した工作機械の熱変形推定, 社本英二,樋野励,冨江竜哉,松原陽介,森脇俊道, 日本機械学会論文集C編,Vol.69 , No.686, pp.2775-2782, 2003.
(5) 機械式円振動発生機構を利用した楕円振動切削加工機の開発, 社本英二,宋詠燦,吉田秀樹,鈴木教和,森脇俊道,幸田盛堂,山西哲司, 精密工学会誌,Vol.69, No.4, pp.542-548, 2003.
(6) Development of Ultrasonic Elliptical Vibration Controller for Elliptical Vibration Cutting, E. Shamoto, N. Suzuki, Y. Naoi and T. Moriwaki, Annals of the CIRP, 51/1, 327-330, 2002.
(7) Analysis and Improvement of Motion Accuracy of Hydrostatic Feed Table, E. Shamoto, C. Park and T. Moriwaki, Annals of the CIRP, 50/1, 285-290, 2001.
(8) 楕円振動切削加工法 (第4報)−工具振動システムの開発と超精密切削への応用, 社本英二, 鈴木教和, 森脇俊道, 直井嘉和, 精密工学会誌, 67, 11, 1871-1877, 2001.
(9) Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive, E. Shamoto, H. Murase and T. Moriwaki, Annals of the CIRP, 49/1, 299-302, 2000.
(10) Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting, E. Shamoto and T. Moriwaki, Annals of the CIRP, 48/1, 441-444,1999.
(11) Analysis of Thermal Deformation of an Ultraprecision Air Spindle System, T. Moriwaki and E. Shamoto, Annals of the CIRP, 47/1, 315-319, 1998.
(12) The Development of a ‘Walking Drive’ Ultraprecision Positioner, E. Shamoto and T. Moriwaki, Precision Engineering, 20, 2, 85-92, 1997.
Study on Elliptical Vibration Cutting, E. Shamoto and T. Moriwaki, Annals of the CIRP, Vol.43/1, pp.35-38, 1994.
<受賞>
2007年 精密工学会技術賞.
2006年 工作機械技術振興賞論文賞
2006年 永井科学技術財団賞学術賞
2003年 精密工学会賞
2001年 精密工学会賞
他10件

Copyright(C) 名古屋大学グローバルCOEプログラム マイクロ・ナノメカトロニクス教育研究拠点